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2022世界杯亚太区赛(www.x2w11.com):28纳米芯片装备禁运听说被引爆,市占率6%国产装备打响攻坚战

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撰文 / 唐煜 郑亚红

编辑 / 赵艳秋

28nm装备被禁亦真亦假

最近的这个周末,一则“台积电南京扩产受阻、28nm半导体装备被卡脖子”的新闻在网上盛传。而AI财经社从几位行业焦点人士处获悉,这条信息并未从可信渠道获得证实,应该是一则假新闻,但情形也对照庞大。

该信息有两个要害点:一是美国选准28nm半导体手艺,严禁美国公司直接向中国出口相关装备,同时也阻止从第三方转移相关装备进入中国市场,为此,台积电、联华电子从中国台湾转移至大陆的装备就未获得美国允许;新闻中的28nm手艺在半导体业界被称为“黄金线”,是区分成熟制造手艺和先进制造手艺的节点。此前,美国只阻止14纳米、7纳米、5纳米等先进半导体装备出口中国。二是称28nm手艺主要影响汽车芯片生产,这直接关系到海内的新能源车、自动驾驶手艺生长。

“台积电受阻”、“28nm”和“新能源车”,几个热词最终将这则传言引爆了。

中国电子专用装备工业协会秘书长金存忠言诉AI财经社,这则谣言在网上传得很厉害,但新闻的源头还未找到。AI财经社登录美国商务部网站后,也并没有查询到相关信息。半导体行业人士顾文军则在同伙圈示意:“据我领会,这是个假新闻。之以是泛起上述谣言,可能是由于有一些外资和台资企业做相关申请时,超出了原来简短的审批周期,以为不被批准。”

不外,情形也比想象中要庞大。海内某芯片制造厂高层刘卓告诉AI财经社,由于疫情打乱了整个生产链,再加上装备交货周期原本就长,全天下都在抢装备,导致装备的交付晚了几个月。但从另外一个角度,有些打压“只做不说,有些则只说不做,因此见仁见智”。

装备行业资深人士周翼在看到这则新闻后剖析,只管未有明文禁令,但凭证他的领会,几个月以来,美国三泰半导体装备供应商应用质料、LAM和KLA都没有从美国本土向中芯国际发过货,“媒体也已经报道过了。”今年3月,知情人士告诉AI财经社,美国应用质料公司虽然在申请出口允许证,“但其装备,甚至连一个零部件都不能从美国发货给中芯国际。”

图/视觉中国

但周翼也提到一点,有些装备好比刻蚀机、CVD(化学气相沉积)不会区分是28nm照样45nm装备。但有些装备,用于28nm及以下那些更先进的芯片,好比光刻机、原子刻蚀机、外延炉等,这些装备美国一直在管控。另有一些装备,好比侵蚀机、建设台、退火炉,这些是“大路货”,可以买到,更不要说,扩散炉、洗濯机,海内已经做得很好。

对海内汽车产业影响有限

“现在28nm尤其吃香,产能也相对更主要。”一位资深芯片人士称,28nm芯片手艺应用异常广,从中低端手机应用处置器,到各种消费电子、电源治理芯片都在使用这种手艺。

那么,若是28nm对汽车产业影响几何?汽车芯片设计人士王玮明确告诉AI财经社,现在汽车界芯片荒并不是由半导体装备“被卡”造成的,再加上新能源汽车自己产量小,因此对汽车产业影响有限。6月22日,工业和信息化部党组成员、副部长王江平示意,增强经济形势跟踪研判,重点对下半年芯片欠缺等问题开展深入剖析。

图/视觉中国

王玮对AI财经社称,对于汽车而言,现在用量最大的是不那么先进的芯片手艺,包罗125nm、90nm、55nm、40nm,“对28nm及以下的细腻工艺,需求没有那么迫切。”金存忠也告诉AI财经社,现在入口的汽车芯片大部门都在65nm左右,汽车芯片不太用28nm,由于太贵。

王玮进一步注释,汽车对28nm的依赖主要集中在智能系统上,好比自动驾驶、大屏幕娱乐等,这类系统异常依赖“算力”,又要只管控制耗电量,28nm是性价比最优的选择。

AI财经社领会到,现在具备制造车规级28nm芯片的主要是台积电和中芯国际,上海华虹有车规级工艺,但制程还达不到28nm。

不外,对于整个海内产业来说,28纳米半导体装备若是被卡脖子,海内芯片制造龙头企业会进一步受阻。此前,华为芯片就是卡在了芯片制造上。

国产半导体装备能顶上来吗?

半导体制造异常庞大,每一块小小的芯片背后,都是一条生产线上几百台半导体装备协力的功效。针对28nm装备,若是遇到问题,海内企业能顶上来吗?据AI财经社领会,海内企业近几年在某些单点产物上有了突破,整体市占率为6%,但增进很快。

半导体装备可以划分为六大主要类型,仅光刻机和刻蚀机两类装备就能占到整体成本的50%。

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图/视觉中国

AI财经社获悉,海内主要有北方华创、中微半导体、屹唐半导体、盛美半导体几家头部国产装备企业。其中,前两家为上市公司,屹唐半导体则走在IPO的路上。中国电子专用装备工业协会秘书长金存忠言诉AI财经社,这些企业的营收额都能做到10亿元以上,“在半导体装备领域,营收达不到10亿,基本上是成不了天气的。”10亿俱乐部之下的第二梯队另有沈阳芯源等几家。

据领会,由海归人士带队的上海中微公司,刻蚀机装备已经打入了台积电的产线;北方华创是一家国企,能制造包罗刻蚀机在内的10多种半导体装备,是现在品种最厚实的企业;屹唐半导体主要做去胶装备,现在在海内市占率能到达90%;盛美半导体则主要针对洗濯装备,也由海归人士开办。

为什么这几家企业能够冲出重围?装备行业资深人士周翼剖析,这些公司首创人在行业里的领军职位起到要害作用,好比中微半导体董事长尹志尧,曾是美国第一泰半导体装备企业应用质料公司的牛人,在2004年60岁时带着15人的团队回国创业,异常有拼搏精神;北方华创董事长赵晋荣,为人务实,是纯本土人才,已往几十年是从下层工程师一起发展起来的。

此外,政府对突破异常难的半导体装备企业支持力度异常大,才气让这些企业有底气投入研发。好比北方华创2016年营业外收入的6.17亿元中有6.12亿元为政府津贴。而这些企业上市后,通过股权激励,也能招到更多优异工程师。

像屹唐半导体这样的企业,还另辟蹊径,2016年5月,亦庄国投通过屹唐半导体以约3亿美元的总价,乐成收购了硅谷的半导体装备公司 Mattson Technology。Mattson确立于1988年,总部位于美国加州,是天下著名半导体制造装备供应商之一。这也是中国资源乐成收购国际半导体装备公司的第一个案例。

由于华为事宜,已往两年,国产半导体装备企业既面临严重挑战,也迎来了忧伤的生长时机。金存忠言诉AI财经社,2020年国产半导体装备销售额突破百亿元,而在2019年,这个数字仅为70多亿元。

海内芯片制造厂高层刘卓对AI财经社说,此前他们基本不用国产半导体装备,但在华为事宜之后,思量到供应链平安,最先购置一些国产半导体装备。现在炉管装备可以实现完天下产替换,在一些节点上,也可以用北方华创和中微的刻蚀机,但许多种类还处在打磨的阶段。

刘卓举例说,现在这些装备精度问题不大,主要是重复性和可靠性问题。金存忠则举例注释称,像光刻机,一个芯片要往返刻好几十次,每一次的制品率必须高于99.99%,才气保证最后这个芯片的制品率到达90%出头。一致性和稳固性很要害。

“在影响良品率的要害环节现在暂没有用国产装备,主要是一致性问题。为了阻止这种损失,国产装备现在先用在几十纳米的制程上。”刘卓说。

跟国产装备企业们一起摸着石头过河的历程中,这位资深高管也感受到了一些差异。好比像北方华创、中微公司、沈阳芯源几家纯本土的厂商,由于焦点手艺都掌握在自己手里,发现问题后现场就能调治,但像一些依赖外洋手艺的企业,在一些新需求的响应上,速率就不如前面那几家企业迅速。

“这几年这些企业的提高都很大,然则改善这些问题磨练的是综合能力,需要时间来打磨,要想最终所有替换整个生产线,至少也还需要5年的时间。”刘卓先容说。但资深行业人士周翼预计时间会更长。

“国产大关非过不能”

“无论若何,国产化这关非过不能,没有可退之路。”周翼对AI财经社称。

一位资深人士告诉AI财经社,已往10年,国家通过“02专项”扶持14纳米国产半导体装备,投入快要一两百亿元,现在已经所有验收。“效果最好的是刻蚀机,中微公司和北方华创的刻蚀机,都在中芯国际用上了。”但他坦承,光刻机攻关效果最差,没有做乐成。

验收也并不即是装备通过了量产磨练,能在现实生产中用,“这是国产装备要解决的一个伟大问题。”验收事实只证实装备是可行的,但制品率、无故障时间都有待实践中打磨。

图/视觉中国(海内芯片生产)

这条路极为艰难。在金存忠看来,“要害就是要有一条根据大生产线运转的树模生产线,主要用国产装备,月产可以少一点,5000片也行,但能让人人以为国产装备可信了。”金存忠以为,这样的一条生产线会成为一个主要的突破口,提升国产装备的信誉度。几位人士称,他们领会,中芯国际在北京正在建设一条非美产线。

装备资深人士周翼进一步弥补称,装备企业需要指导线,目的是试错和改善。“美国应用质料就有指导线,应用质料也在这里完成与台积电、英特尔等互助工艺的研发。中国半导体装备厂如北方华创,建设指导线也是当务之急。”但他也坦言,指导线的一样平常用度很高,应用质料的毛利率在45%,有能力支持,中国企业至今没有指导线。

这照样一个产业链的问题。海内半导体装备要害零部件没人做或者不达标。有资深人士举例说,MOCVD(金属有机化学气相沉积装备)需要用到温度控制器。一次,一台国产MOCVD装了国产的控制器之后,温度酿成零了,导致机械里的蓝宝石晶圆所有报废,幸好上了保险,赔了客户几十万元,类似的惨剧也在其他装备上演过。包罗真空管、机械手,看似“简朴”,但海内都还不达标。

刘卓则示意,现在没有其他的突破口,除非没有退路,勇往直前。正如一些报道中称,这两年我们面临的外部环境差,但它又是一个千载一时的时机。“不外,美国装备企业扛不住”,他们照样在想方想法对中国出口装备。

现在,国家层面也在加大对半导体装备的支持。2020年7月,国务院宣布《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量生长若干政策的通知》(8号文),在财税、收支口、投融资、科研、人才、知识产权、市场应用、国际互助等八方面就半导体产业生长予以扶持。

国家二期大基金也是推动国产装备生长的一支主要气力。在2019年的一场峰会上,大基金曾示意,将从三个方面重点支持,一是对在刻蚀机、薄膜装备、测试装备和洗濯装备等领域已结构的企业保持高强度的连续支持;二是加速开展光刻机、化学机械研磨装备等焦点装备以及要害零部件的投资结构,填补空缺;三是督促制造企业提高国产装备验证及采购比例,为更多国产装备、质料提供工艺验证条件。

“现在国产装备的市占率是6%,未来就看哪个地方能进一步突破。”金存忠示意。

(文中刘卓、周翼为假名)

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